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多弧离子镀硬膜设备介绍

发布日期:2020-11-14 09:28:27浏览次数:728
多弧离子镀硬膜设备功能特性:

1.采用先进的扫描电磁+永磁技术增强弧斑运动速度和分裂速度,减少熔滴,增强金属蒸汽和气体离化。

2.提高等离子能量进而提高离化率。和国外技术相比,我们通过辅助阳    极的优化设计,弧光增强的辉光放电刻蚀技术可靠高效,不会出现传统弧源那样在刻蚀时偏压经常打火现象。

3.磁场充分拓展并覆盖整个镀区,镀区等离子体完全磁化,在正交电磁   场作用下,增加等离子密度,提高金属中性原子和气体的离化率,进而提高膜层生长速度和膜层质量。

增强等离子体、旋转扫描运动冷阴极、细化颗粒、绕射性增强、膜层致密,溅射距离远、扫描范围广更好的均匀区,能量高,结合力提高。可调节距离引弧阳极,不用停机维护;反转轨道式更换维护冷阴极结构。         

应用范围:

各种金属氮化物陶瓷涂层及金属涂层适用行业,工具、模具、金属零件及其他高质量纳米涂层
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